Industrial Equipment

SEAbatch PV
Dosing bottle
Dosing bottle

Dosing accuracy +/- 2%

Hot Water Dry
Hot Water Dry

Perfect Drying

Transport unit
Transport unit

Fast & Stable transport unit

태양광

Batch XL

n-type 고효율 태양전지에 최적화된 시스템
Bath 수직 장비 중 최대 생산량 (최대 투자 효율)

Features & Benefits

다양한  batch application

  - Alkaline / Acidic texturing
  - pSC1 / SC2 / O3 cleaning
  - Oxidation

최대 생산량

  - 600 wafers load 
  - up to 12,000w/h

210

Wafer 크기

최대 M12 (210 x 210mm)

높은 dosing 정확도

+/- 2%

완벽 건조

Metal 성분 제로

DHF-3.png
wet process
wet process

wet process

Blower
Blower

Blower

Spray
Spray

Spray

Inline XL

n-type Inline 시스템에 최적화된 시스템

Features & Benefits

Cleaning.png

다양한 Cleaning 솔루션

  - Roller brush / Disc brush 
  - Bubble jet
  - Ultrasonic / Plasma

Particle.png

분진 제로 설계

210

Wafer 크기

최대 M12 (210 x 210mm)

완벽 건조

Inline.png

다양한  Inline application

  - HF/Metal Cleaning
  - RCA & O3 Cleaning
  - Developing / Etching / Striping
  - Electrical deposition

 

Glass (Thin film, FPD)

SEAline Glass Cleaner

Solar Thinfilm glass에 최적화 된 시스템

분진 제로 설계

Features & Benefits

inline_white.png

다양한 inline application

  - RCA & O3 Cleaning
  - Developing / Etching

     / Striping

Cleaning_w.png

다양한 세정 솔루션

  - Roller brush / Disc brush
  - Bubble jet
  - Ultrasonic / Plasma

G7_w.png

Glass 크기

Generation 7

Particle_w.png

분진 제로 설계

Drying_white.png

완벽 건조

Bubblejet_1
Bubblejet_1

Inline wet process

Roller brush_1
Roller brush_1

Easy maintenance

Transport_1
Transport_1

High pressure spray cleaning

반도체

SEAbatch SEMI

Bath 수직 장비 중 최대 생산량 (최대 투자 효율)

Features & Benefits

Chemical.png

다양한 batch application

  - RCA / SPM / HFO3 / DIO3 cleaning
  - Developing / Etchiong / Stripping
  - Oxidation / Special drying

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분진 최소화

  - RCA cleaning < 30EA
  - Dry < 30EA

Batch.png

생산 가능 기판

  - Si wafer up to 300mm

  - Glass / Ceramics up to 500x500mm

Drying.png

완벽 건조

icon3.png

높은 dosing 정확도 +/- 2ml

Metal 성분 제로

스마트 공장

4차 산업 시대를 위한 기술

Smart AGV

Benefits

 - 물류 자동화 공장 & 최적화 된 업무 흐름
- 자율 / 안전 / 확장 / 효율 / 신속성

SR7P_2.png

SR7P

SR7C_1.png
SR9_1.png

SR9

SR7C

MotorSense

Benefits

  - 인공지능(AI)를 통한 고장 예측
  - 예측 불가능한 장비 이상 징후를 감지 및 정확한 예측 통보
  - 실시간 모니터링 서비스

     ** 언제 어디서든 웹 & 휴대기기를 통한 접속

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