Industrial Equipment
Dosing accuracy +/- 2%
Perfect Drying
Fast & Stable transport unit
태양광
Batch XL
n-type 고효율 태양전지에 최적화된 시스템
Bath 수직 장비 중 최대 생산량 (최대 투자 효율)
Features & Benefits
다양한 batch application
- Alkaline / Acidic texturing
- pSC1 / SC2 / O3 cleaning
- Oxidation
최대 생산량
- 600 wafers load
- up to 12,000w/h
210
Wafer 크기
최대 M12 (210 x 210mm)
높은 dosing 정확도
+/- 2%
완벽 건조
Metal 성분 제로
wet process
Blower
Spray
Inline XL
n-type Inline 시스템에 최적화된 시스템
Features & Benefits
다양한 Cleaning 솔루션
- Roller brush / Disc brush
- Bubble jet
- Ultrasonic / Plasma
분진 제로 설계
210
Wafer 크기
최대 M12 (210 x 210mm)
완벽 건조
다양한 Inline application
- HF/Metal Cleaning
- RCA & O3 Cleaning
- Developing / Etching / Striping
- Electrical deposition
Glass (Thin film, FPD)
SEAline Glass Cleaner
Solar Thinfilm glass에 최적화 된 시스템
분진 제로 설계
Features & Benefits
다양한 inline application
- RCA & O3 Cleaning
- Developing / Etching
/ Striping
다양한 세정 솔루션
- Roller brush / Disc brush
- Bubble jet
- Ultrasonic / Plasma
Glass 크기
Generation 7
분진 제로 설계
완벽 건조
Inline wet process
Easy maintenance
High pressure spray cleaning
반도체
SEAbatch SEMI
Bath 수직 장비 중 최대 생산량 (최대 투자 효율)
Features & Benefits
다양한 batch application
- RCA / SPM / HFO3 / DIO3 cleaning
- Developing / Etchiong / Stripping
- Oxidation / Special drying
분진 최소화
- RCA cleaning < 30EA
- Dry < 30EA
생산 가능 기판
- Si wafer up to 300mm
- Glass / Ceramics up to 500x500mm
완벽 건조
높은 dosing 정확도 +/- 2ml
Metal 성분 제로
스마트 공장
4차 산업 시대를 위한 기술
Smart AGV
Benefits
- 물류 자동화 공장 & 최적화 된 업무 흐름
- 자율 / 안전 / 확장 / 효율 / 신속성
SR7P
SR9
SR7C
MotorSense
Benefits
- 인공지능(AI)를 통한 고장 예측
- 예측 불가능한 장비 이상 징후를 감지 및 정확한 예측 통보
- 실시간 모니터링 서비스
** 언제 어디서든 웹 & 휴대기기를 통한 접속
