Industrial Equipment

태양광

SEAbatch 600

n-type 고효율 태양전지에 최적화된 시스템
Bath 수직 장비 중 최대 생산량 (최대 투자 효율)

Features & Benefits

다양한  batch application

  - Alkaline / Acidic texturing
  - pSC1 / SC2 / O3 cleaning
  - Oxidation

최대 생산량

  - 600 wafers load 
  - up to 12,000w/h

210

Wafer 크기

M6 (166 x 166mm)

M10 (182 x 182mm)

M12 (210 x 210mm)

높은 dosing 정확도

+/- 2%

완벽 건조

Metal 성분 제로

 

Glass (Thin film, FPD)

SEAline Glass Cleaner

Solar Thinfilm glass에 최적화 된 시스템

분진 제로 설계

Features & Benefits

다양한 inline application

  - RCA & O3 Cleaning
  - Developing / Etching

     / Striping

다양한 세정 솔루션

  - Roller brush / Disc brush
  - Bubble jet
  - Ultrasonic / Plasma

Glass 크기

Generation 7

분진 제로 설계

완벽 건조

반도체

SEAbatch SEMI

Bath 수직 장비 중 최대 생산량 (최대 투자 효율)

Features & Benefits

다양한 batch application

  - RCA / SPM / HFO3 / DIO3 cleaning
  - Developing / Etchiong / Stripping
  - Oxidation / Special drying

분진 최소화

  - RCA cleaning < 30EA
  - Dry < 30EA

생산 가능 기판

  - Si wafer up to 300mm

  - Glass / Ceramics up to 500x500mm

완벽 건조

높은 dosing 정확도 +/- 2ml

Metal 성분 제로

스마트 공장

4차 산업 시대를 위한 기술

Scorpion 시리즈

Autonomous Mobile Robot

Benefits

 - 유연하고 효율적인 업무
 - 낮은 유지비 & 높은 이윤

SR7CP

SR7C

SR1

MotorSense

Motor Failure Prediction System

Benefits

 - 인공지능(AI) 운영
 - 편리한 사용 & 호환 가능
 - 기계 & 인간의 협업

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