Industrial Equipment
태양광
SEAbatch 600
n-type 고효율 태양전지에 최적화된 시스템
Bath 수직 장비 중 최대 생산량 (최대 투자 효율)
Features & Benefits
다양한 batch application
- Alkaline / Acidic texturing
- pSC1 / SC2 / O3 cleaning
- Oxidation
최대 생산량
- 600 wafers load
- up to 12,000w/h
210
Wafer 크기
M6 (166 x 166mm)
M10 (182 x 182mm)
M12 (210 x 210mm)
높은 dosing 정확도
+/- 2%
완벽 건조
Metal 성분 제로
Glass (Thin film, FPD)
SEAline Glass Cleaner
Solar Thinfilm glass에 최적화 된 시스템
분진 제로 설계
Features & Benefits
다양한 inline application
- RCA & O3 Cleaning
- Developing / Etching
/ Striping
다양한 세정 솔루션
- Roller brush / Disc brush
- Bubble jet
- Ultrasonic / Plasma
Glass 크기
Generation 7
분진 제로 설계
완벽 건조
반도체
SEAbatch SEMI
Bath 수직 장비 중 최대 생산량 (최대 투자 효율)
Features & Benefits
다양한 batch application
- RCA / SPM / HFO3 / DIO3 cleaning
- Developing / Etchiong / Stripping
- Oxidation / Special drying
분진 최소화
- RCA cleaning < 30EA
- Dry < 30EA
생산 가능 기판
- Si wafer up to 300mm
- Glass / Ceramics up to 500x500mm
완벽 건조
높은 dosing 정확도 +/- 2ml
Metal 성분 제로
스마트 공장
4차 산업 시대를 위한 기술
Scorpion 시리즈
Autonomous Mobile Robot
Benefits
- 유연하고 효율적인 업무
- 낮은 유지비 & 높은 이윤
SR7CP
SR7C
SR1
MotorSense
Motor Failure Prediction System
Benefits
- 인공지능(AI) 운영
- 편리한 사용 & 호환 가능
- 기계 & 인간의 협업
